针对高温微纳米压痕测试技术研究现状和存在问题，本公司利用自主开发的集闭环控制、温度检测控制、精密驱动以及大行程压痕驱动等技术于一体的商业化高温微纳米压痕测试仪器。

应用：

Ø 高温合金、热障涂层

Ø 金属材料、合金材料

Ø 陶瓷材料

Ø 聚合物材料

Ø 生物材料

Ø 仿生组织

Ø 复合材料

Ø 玻璃

Ø 半导体器件、薄膜

Ø 硬质涂层等等材料

 

高温微纳米压痕测试仪技术指标如下：

Ø 国际首台商业化高温微纳米压痕测试仪，为材料制备、生命科学、航空航天和星际探索提供精准技术支撑。

Ø 精度水平符合ISO14577国际标准

Ø 力载荷量程：10N、44N、200N（系列）

Ø 力分辨率：1mN（常温）、4mN（高温）；9mN（常温）、20mN（高温）；50mN（常温）、200mN（高温）（系列）

Ø 位移量程：200um、500um（系列）

Ø 位移分辨率：0.03um（常温）、0.08um（高温）；0.09μm（常温）、0.25μm（高温）（系列）

Ø 低温温控范围：0-1600℃

Ø 最大压痕深度：≥ 30um

Ø 有效使用面积：直径为35mm的圆面积

Ø 位移测量：电容位移传感器

Ø 加载模式：压电力加载

Ø 样品尺寸：毫米级

Ø 可测量压入载荷-压入深度曲线、残余压深、最大压深、材料硬度、弹性模量、断裂韧性、接触刚度等基本参量

Ø 实时测量载荷和位移值，可实时生成载荷位移曲线