本公司针对低温微纳米压痕测试技术研究现状和存在问题，结合现有纳米压痕测试基本理论、精密驱动技术、精密检测技术与低温制冷手段，开发生产商业化低温微纳米压痕测试仪。

应用：

Ø 高温合金、热障涂层

Ø 金属材料、合金材料

Ø 陶瓷材料

Ø 聚合物材料

Ø 生物材料

Ø 仿生组织

Ø 复合材料

Ø 玻璃

Ø 半导体器件、薄膜

Ø 硬质涂层等等材料

 

低温微纳米压痕测试仪技术指标如下：

Ø 力载荷量程：10N

Ø 力分辨率：0.3mN

Ø 位移量程：50um（精调）、1mm（粗调）

Ø 位移分辨率：1nm

Ø 低温温控范围：100k-室温

Ø 位移测量方式：电容位移传感器

Ø 压头总的位移范围：≥20mm

Ø 位移波动：＜2nm

Ø 加载模式：压电驱动

Ø 载荷波动：＜0.6mN

Ø 样品尺寸：毫米级

Ø 可测量压入载荷-压入深度曲线、材料硬度、弹性模量、断裂韧性等基本参量